Технологии в электронной промышленности №7'2011

Системы очистки воздуха в микроэлектронном производстве

Вадим Надоленко

В микроэлектронном производстве применяется не один десяток химических соединений и газов. Для различных технологических процессов необходимы разные наборы газов и химических составов. Но неизменными остаются следующие факты: они используются в процессе постоянно, в больших количествах, бoльшая часть этих веществ весьма агрессивна и токсична, и просто выбрасывать их в атмосферу после отработки нельзя ни в коем случае. Вопрос очистки отработанного воздуха выливается в инженерную задачу, которая требует специфических решений и оборудования.

Статьи последних номеров доступны только в печатном варианте. Вы можете приобрести свежие номера журнала «Технологии в электронной промышленности» в свободной продаже или заказать в редакции. Извините за доставленные неудобства.

Другие статьи по этой теме

• Использование нейросетевых технологий при идентификации печатных плат по их внешним признакам
• Международная выставка «ЭлектронТехЭкспо» как инструмент для решения государственных задач в сфере развития производства электроники в России
• Опыт внедрения комплексного проекта по автоматизации производства электроники
• Организационное собрание российской рабочей группы IPC
• Производство электроники, организация производства
• Концепция «Производительность по требованию» - как стратегия модернизации производства в кризисное время
• Школа производства ГПИС. Технические требования к внешнему виду пассивной части ГПИС на разных этапах изготовления
• Continental откроет под Калугой новое производство

ПОДПИСКА НА НОВОСТИ